放大圖片 單溫區退火爐 - 半導體行業 設備 2025年-07月-29 02:26:54 產品概述主要用于半導體行業中芯片轉型退火、擴散等.產品參數主要技術指標最高使用溫度≤800℃恒溫區長度≥400mm, 溫度均勻性±1.5℃控溫精度±0.1℃腔室φ100mm、φ120mm、φ150mm可選可定制功能自動退火功能，記錄工藝參數，多種工藝參數存儲調用設備尺寸設備尺寸L1800×W600×H1600mm其他參數供電電源三相五線 380V±5%,50~60Hz設備重量200Kg
